石墨烯生長爐（PECVD）
產(chǎn)品說明：
石墨烯生長爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
一：基本參數(shù)：
1: 加熱爐部分
2 :爐膛模式 開啟式爐膛
3 :顯示模式 觸摸屏
4: 極限溫度 1400℃
5 :工作溫度 ≤1350℃
6: 升溫速率 建議10℃/Min Max：30℃/Min
7 :預(yù)熱溫區(qū)長度 150mm
8 :主溫區(qū)長度 300mm
9 :預(yù)熱溫區(qū)移動 手動移動
10: 主溫區(qū)移動 自動移動，速度可以設(shè)定
二：設(shè)備特點：
1: 設(shè)備規(guī)格 2000*85*1400mm（長*寬*高）
2: 爐管長度 2000mm
3: 控溫精度 ±1℃
4: 密封方式 快速法蘭密封
5 :溫度曲線 30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
6:預(yù)存曲線 可預(yù)存15條溫度曲線
7: 超溫報警 有
8:過流保護(hù) 有
9: 斷偶提示 有
10: 測溫元件 s型熱電偶
11: 爐膛材料 氧化鋁纖維
12： 射頻電源功率
13： 信號頻率 13.56 MHz±0.005%
14： 功率輸出范圍 5W-500W
15： 功率穩(wěn)定度 ±0.1%
16： 諧波分量 ≤-50dbc
17 ：供電電壓 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
18： 整機(jī)效率 >=70%
19： 功率因素 >=90%
20 ：冷卻方式 強(qiáng)制風(fēng)冷
真空部分
1：工作電電壓 220V±10% 50~60HZ
2：功率 500瓦
3：抽氣速率 4L\s
4： 進(jìn)氣口口徑 KF25
5：排氣口口徑 KF25
6：轉(zhuǎn)速 1450rpm
7：噪音 55dB
9：極限真空 4X10-2Pa
氣路系統(tǒng)
1,2,3,4氣路采用DB07系列
準(zhǔn)確度：±1.5%
重復(fù)精度：±0.2%
響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
整機(jī)系統(tǒng)特色
正壓測量 -100Kpa---100Kpa
真空測量 -100Kpa
超壓保護(hù) 超壓保護(hù)值可以設(shè)定
壓力恒定 恒定壓力值可以設(shè)定
智能氣路 氣路系統(tǒng)可以編程
氣路定時 通氣時間可以設(shè)定
射頻工作時間設(shè)定 輝光放電時間可以設(shè)定，自動關(guān)機(jī)
移動速度調(diào)節(jié) 移動速度可以設(shè)定
系統(tǒng)真空度 5Pa
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